去离子水设备产水纯度如何检测？——在线+离线双轨方案，18.2 MΩ·cm稳态可见

一、核心指标与对应仪表

1. 电阻率 / 电导率

• 目标：一级水 ≥18.2 MΩ·cm（25 ℃），对应电导率≤0.055 µS/cm

• 仪表：在线电导率仪（±0.1 µS/cm）+ 温度补偿，装在总送水口与最远回路

• 校准：用 0.005 mol/L KCl 标准液每日一点校准，漂移＞1% 即换电极

2. TOC（总有机碳）

• 目标：电子/制药 ≤1 ppb；实验室 ≤5 ppb

• 仪表：在线紫外氧化-NDIR 型 TOC 仪，检测限 0.1 ppb

• 离线复查：每周取 500 mL 样品，用 TOC 分析仪对比，偏差＜10% 为合格

3. 微生物 + 内毒素

• 微生物：膜过滤法，100 mL 样品培养 48 h，菌落≤1 CFU/100 mL

• 内毒素：鲎试剂法，灵敏度 0.01 EU/mL，注射用水要求 <0.25 EU/mL

• 取样口：总送水、储罐、最远使用点三点必检

4. 颗粒物（电子级必测）

• 在线激光颗粒计数器，0.1 µm 通道，报警值≤100 粒/L

• 离线对比：0.22 µm 膜过滤称重法，每月一次

5. 溶解气体（CO₂、O₂）

• CO₂ 过高会降电阻率，用在线红外 CO₂ 仪监测≤1 ppm

• 溶氧仪控制≤5 ppb，防止管路腐蚀

二、在线监测布点图

• ① 混床/EDI 出口 → ② 紫外后 → ③ 终端过滤后 → ④ 总回水口
  四点电阻率实时上传 SCADA，任意一点 <17 MΩ·cm 即声光报警，并触发自动循环。

三、离线检测周期表（可直接贴 SOP）

四、速判口诀

"电阻率实时看，TOC 天天见；
微检每周验，颗粒月盘点；
气体 CO₂ 别超标，纯度稳态跑不了！"

五、结果处理

• 检测结果录入 LIMS，自动生成趋势图；连续 3 天电阻率下降 >0.2 MΩ·cm，即触发混床/抛光柱更换程序。

• 离线超标立即复测，仍不合格→停机排查，防止不合格水流入下道工序。

按以上在线+离线双轨检测，18.2 MΩ·cm 不再是"瞬时峰值"，而是 24 h 稳态平台，满足电子、制药、实验室等多场景对去离子水纯度的严苛要求。